精密仪器行业刻下“费勉”印迹

赵嘉峰和实验室里他的宝贝仪器们

“最自豪的，是创业9年来我们从一个默默无闻的品牌，到如今产品开始反向出口，而科学高端精密仪器这个行业本来近乎欧美垄断，进口居多。”出生于1982年的费勉仪器科技（上海）有限公司董事长、首席执行官CEO赵嘉峰聊起自己和伙伴们打下的高端精密仪器这片“江山”，颇有些英雄气概。

2012年，赵嘉峰等数名复旦大学物理系博士在上海宝山区共同创立了费勉仪器科技（上海）有限公司，历时十多年自主创新，在部分高端仪器领域填补国内空白，甚至实现国际领先。

用技术让供应商服气

赵嘉峰的创业基础来源于复旦大学表面科学国家重点实验室。这个实验室走出来的物理系博士沉迷于表面物理的神奇——从最早体积极大的芯片或三极管，演变成几层薄膜。当年30岁的他与一帮志同道合的朋友开始创业时，就有着极为明确的目标，那就是做我们自己的高精尖产品。

要知道，精密仪器既是科研创新的工具，自身也需要不断创新。但在国内基础科学和前沿科技投入和重视程度不断攀升、诸多领域拥有世界领先原创性科研成果的大环境下，高端精密仪器仍严重依赖进口。

比如实验中需要的紫外光源灯，他们曾经花费100余万元人民币进口了一台，结果用了几个月就出问题，一修就是几万块。在跟供应商沟通时，对方却表示是使用不当，要么就是中国的水、电或气有问题。一气之下，赵嘉峰和小伙伴们自己动手改造，只花了6000元，效果很好，各项指标从此特别稳定。供应商得知后，反过来请教他们做了哪些改造。这也是赵嘉峰和小伙伴欧宏炜初次在仪器自主研发上“小试牛刀”。

用创新让科研产业化

费勉仪器以真空技术、低温技术、薄膜制备、等离子技术四大核心技术为主线，成立至今申请知识产权40余件，已授权17件。去年，费勉产出的第一套规模化芯片镀膜设备已经交付，很快，将产出第二套、第三套、第四套。

消杀用品则是费勉仪器在产业化之路上的“小试牛刀”。一般净化器都采用滤网，但费勉仪器的空气净化器无需更换滤网又不用手动清洗，这是什么魔术呢？赵嘉峰告诉记者，“疫情刚开始的时候，公司每天都在开线上会议，大家都在讨论，在这样的时期，我们可以做些什么。”赵嘉峰说，讨论的结果是等离子空气活化消杀技术，“等离子技术本来是用于强光照明的，现在反向使用，利用其产生的正负离子对，实现空气电离净化，起到消杀效果，让病毒在最大限度内不可存活。”

用实力提升美誉度

如今，费勉仪器的团队已有170余位小伙伴，产品销往北大、清华、中科院、美国波士顿大学和康奈尔大学、韩国首尔国立大学等一大批国内外知名高校及研究所，公司年产值平均增长率超过50%。在高端科研仪器行业，费勉仪器的品牌知名度和认可度正在不断提升。2017年，费勉仪器被评为上海市高新技术企业，2019年被认定为上海市“专精特精”中小企业，2020年入选上海市专利试点单位和上海市科技小巨人培育企业。本月，公司面向第三代半导体产业新研制的4英寸工业镀膜装备将正式发布。这台填补国内空白的设备上市后，我国集成电路行业前进的道路上又将刻下新的“费勉”印迹。

本报记者 郭剑烽